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阿斯麦公布 EUV 光源技术突破，到 2030 年芯片产能有望提升 50%
2 月 23 日
当地时间 2 月 23 日，阿斯麦研究人员称已找到提升关键芯片制造设备光源功率的方法，将 EUV 光源功率提升至 1000 瓦有望在 2030 年前使芯片产量提高 50%。
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