阿斯麦 EUV 光刻机实现纳米孔全晶圆级制造，推动分子传感技术发展

比利时微电子研究中心（IMEC）利用阿斯麦（ASML）极紫外光刻（EUV）设备实现纳米孔全晶圆级制造，阿斯麦公关负责人称其为设备「卓越生物医学应用」。纳米孔是直径仅数纳米的微小孔道，基于分子与纳米孔相互作用原理可用于生物医学传感器，经该技术制备的纳米孔能实现对单个分子的检测与识别，调整尺寸还可拓展应用场景。现有纳米孔制备方法存在缺陷，而此次研究实现量产化、高精度与可重复性，有望解决纳米孔传感器技术落地难题。