华海清科自主研发国内首台全自动板级抛光装备进入量产线

华海清科自主研发的国内首台全自动板级 CMP 量产装备 Master-P510APEX 顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用。该装备针对大尺寸板级封装工艺特点系统性设计，具备全板面均匀性与平坦化控制能力，可满足低缺陷抛光要求，还能通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式灵活切换，可为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。