ASML：英特尔成为全球首家实现 High NA EUV 逻辑芯片高产量出货的企业

阿斯麦宣布英特尔代工利用其高数值孔径极紫外光刻技术，在 Intel 18A 工艺节点量产部分酷睿 Ultra 3 系列处理器，成为全球首家实现该技术逻辑芯片高产量出货的企业。双方称 Intel 18A 部分工艺层完成该技术双重认证，良率达现有 NXE EUV 平台水平，还将推进其在未来制程节点的应用。2024 年，双方在美国俄勒冈州完成业界首台商用 High NA EUV 光刻系统集成，英特尔是首家安装并通过第二代 TWINSCAN EXE:5200B 系统验收测试的公司。台积电董事长魏哲家辟谣公司不投 High-NA EUV 设备的传言，称早已购入，因成本高暂不投入量产，正努力降本以最大化其效益。