国产高端半导体检测设备正式发布：多项性能指标超越国际同类产品

安徽凌光红外科技有限公司正式发布国内首创的 LUXETVERITAS 微光显微镜及激光诱导电阻变化二合一显微镜。该集成化电性失效分析设备深度融合 EMMI 微光检测与 OBIRCH 激光诱导电阻变化功能，搭载深度制冷近红外相机与大口径自研 1.35 倍物镜，EMMI 模块可精准定位纳安级微弱漏电，OBIRCH 模块可实现 pA 级超高精度电流放大测量，填补国内市场空白，将为集成电路产业自主可控注入强动能。凌光红外深耕光学成像与精密检测领域，坚持正向研发，接连推出系列产品，多项性能指标超越国际同类产品，自 2025 年落地合肥科大硅谷片区以来加速推进核心技术产业化，多款产品获评相关认定，并与合肥半导体产业链链主企业建立稳定合作关系。