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台媒：台积电 EUV 光刻机采购破 50 台，远超三星
2020 年 9 月 28 日
台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计 EUV 机台至 2021 年底将超过 50 台 … 报道指出，相较之下，三星电子 2021 年还不到 25 台，同时 EUV POD（光罩传送盒）采购量远低于预期。
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