Science 评价「范式转变」：新金属蒸镀方法，让二维晶体管性能大幅提升

湖南大学柳畅副教授团队联合多单位研究人员，研发出 Step-Eva 分步蒸镀技术，将金属蒸镀改为每次蒸镀约 0.5 纳米后停顿 5 分钟的循环模式，通过时间域解耦的弛豫外延机制，让金属原子充分迁移重排，实现金属电极从多晶到单晶的跃迁。该技术制备的二维晶体管性能较传统方法提升约两个数量级，接触电阻仅为传统方法的约三分之一，且适用于多种金属和二维半导体材料，薄至 8 纳米仍能保持完整导电。目前该研究处于实验室阶段，未来有望助力芯片更小、更快、更省电，团队正考虑与企业合作推进设备开发和工艺放大。