格科半导体成功引入 ASML 先进 ArF 光刻机

在 3 月 24 日，格科半导体再次迎来了建厂重要标志性时刻，整套生产线中的最关键设备 ——ASML 先进 ArF 光刻机成功搬入 … ArF 光刻机的成功引入，是格科微「12 英寸 CIS 集成电路特色工艺研发与产业化项目」建设的关键节点 … 依托自有工厂即格科半导体的先进制程，格科微将进一步加快先进 CIS 工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。