台积电作为 ASML 光刻机的最大客户也回应了此事，他们表示不担心会对 2022 年生产有什么影响 … 至于 ASML，根据他们之前的信息，虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早，但这次事件影响的主要是 EUV 光刻机生产，DUV 光刻机不受影响 … EUV 光刻机是生产 7nm 以下工艺的关键设备，ASML 是全球唯一的 EUV 光刻机供应商，每台售价 1 亿欧元，将近 10 亿人民币，去年交付了 35 台 EUV 光刻机，今年计划交付 55 台 EUV 光刻机，三星、台积电及 Intel 是主要的客户。