台积电目前 5/3nm 制程产能利用率已达 100%，为应对各厂商需求，3nm 制程下半年月产能将从 10 万片逐步增加至约 12.5 万片。2nm 制程预计最快于 2025 年第四季度开始量产，目标月产能为 3 万片。随着未来高雄厂区的增加，竹科和高雄两地的总月产能预计可达 12-13 万片。