SK 海力士 TEMC 合作开发了业界首个氖气回收技术，可节省 400 亿韩元，缓解地缘政治环境下稀有气体供应紧张问题。该技术通过收集和选择性分离半导体光刻工艺后的氖气，再进行纯化重新供应，整体回收率可达 72.7%。此举还有助于降低碳排放。