江苏先导首台 12 寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
1 小时前
7 月 30 日,江苏先导微电子自主研发的首台 Star600-EOSS 12 寸高端精密光学磁控溅射量产设备在徐州高新区生产基地完成组装、联调,通过自动化与工艺验证后正式交付国内头部晶圆厂,标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现从研发、制造到产业化交付的重要突破。
江苏先导首台 12 寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
格隆汇/同花顺财经/财联社
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7 月 30 日,江苏先导微电子自主研发的首台 Star600-EOSS 12 寸高端精密光学磁控溅射量产设备在徐州高新区生产基地完成组装、联调,通过自动化与工艺验证后正式交付国内头部晶圆厂,标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现从研发、制造到产业化交付的重要突破。