消息称三星电子完成 900 层超高堆叠 3D NAND 闪存原型开发
5 月 25 日
三星电子近期利用单元多层键合(CMB)技术连接两片 450 层 3D NAND,构建了全球首个 900 层超高堆叠 3D NAND 闪存原型,其存储单元工作特性已得到验证。该过程中,三星通过「上部卡盘」解决晶圆翘曲问题,以新型套刻校正技术克服微细对准误差,并对位线(BL)与字线(WL)进行改进,同时提升了功耗和尺寸表现。
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三星电子近期利用单元多层键合(CMB)技术连接两片 450 层 3D NAND,构建了全球首个 900 层超高堆叠 3D NAND 闪存原型,其存储单元工作特性已得到验证。该过程中,三星通过「上部卡盘」解决晶圆翘曲问题,以新型套刻校正技术克服微细对准误差,并对位线(BL)与字线(WL)进行改进,同时提升了功耗和尺寸表现。