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先锋精科成立于 2008 年 3 月，是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家，尤其在国际公认的技术难度仅次于光刻设备的刻蚀设备领域，是国内少数已量产供应 7nm 及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商 … 例如，在中微公司批量生产的应用于 7nm 及以下制程芯片生产线的 CCP 刻蚀设备及其氮化镓基 LED MOCVD 设备领域，先锋精科是关键工艺部件 —— 腔体、匀气盘的核心供应商，在国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备的核心金属零部件领域占据重要地位 … 除中微公司直接持有先锋精科 1.93% 的股份、中芯国际通过中小企业发展基金间接持股 0.91%、北方华创通过北京集成电路基金间接持股（比例小于 0.01%）外，先锋精科及其控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员与其前五大客户之间不存在持股及关联关系情况。