芯上微装首台 350nm 步进光刻机正式发运

上海芯上微装科技股份有限公司自主研发的首台 350nm 步进光刻机（AST6200）完成出厂调试与验收，发往客户现场，标志我国高端半导体光刻设备领域再获关键突破。