上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展

中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作，利用「万能离子刀」剥离转移技术，在六吋图形化 SiN 晶圆上集成高质量铌酸锂薄膜，并制备出具备高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器。该方案采用氮化硅与薄膜铌酸锂形成混合波导，无需刻蚀铌酸锂薄膜，简化了工艺流程，为未来硅光平台与薄膜铌酸锂的晶圆级异质集成量产奠定了基础。