全国首台国产商业电子束光刻机在杭「出炉」

全国首台国产商业电子束光刻机「羲之」已进入应用测试，其精度达到国际主流水平，标志着我国在量子芯片研发领域取得重要突破。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，具备在极小尺度上进行精密加工的能力，被誉为「纳米神笔」。