中国科学院上海微系统所开发出高性能 10mm 大口径压电 MEMS 快反镜

中国科学院上海微系统与信息技术研究所团队开发出一种高性能 10 毫米大口径压电 MEMS 快反镜，可实现高精度激光光束闭环控制，满足卫星激光通信需求。该快反镜采用双层异构集成技术，具备高线性度、超高角度分辨率和快速响应特性，动态表面形变仅 2 纳米，优于传统机械快反镜及商用 MEMS 快反镜，为航空航天领域提供小型化高性能解决方案。相关研究已发表于《微系统与纳米工程》。