俄罗斯成功研发首台 350 纳米光刻机并计划批量生产

莫斯科市长宣布俄罗斯成功研发出首台 350 纳米光刻机并计划批量生产，该设备采用固态激光器，具备高效能和长寿命特点。俄罗斯正推进微电子产业本土化，计划 2026 年完成 130 纳米光刻机研发，同时已掌握 65 纳米工艺制造技术但依赖进口设备，正努力实现全面国产化。尽管 350 纳米工艺较落后，但仍可满足部分基础需求。