在三星扬言 3 纳米要抢先台积电，于明年上半年量产之际，业界传出，台积电正加快 3 纳米量产脚步，有望至少提前一季至明年第 2 季量产，力抗三星，中砂、家登等台积电相关供应链也已经先动起来 ...联发科执行长蔡明介日前即宣示，与台积电合作紧密，5 纳米及 4 纳米产品已在量产过程中，3 纳米会是下一个制程 ... 家登极紫外光（EUV）光罩盒目前大多供应给 5 纳米制程应用，法人预期，随着明年台积电 3 纳米制程量产，相关 EUV 光罩盒用量也会增长，预估明年家登光罩载具与晶圆载具业绩比重可能达 6:4。