三星研发「智能传感器系统」，用于提高半导体良率和产能

三星电子正在研发「智能传感器系统」，以提高半导体良率和产能。关键在于精确控制生产过程中的等离子体均匀性和密度，该系统可测量晶圆等离子体均匀性，准确管理蚀刻、沉积和清洗工艺性能。此举有望缓解对外国传感器的依赖，并提高产量。开发的智能传感器为超小型，不影响现有设备空间，可在提高空间利用率的同时提高产能。未来，三星计划扩大智能传感器应用范围，开发可用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。