ASML 公司计划在未来几年每年投资 1 亿欧元用于建设和扩建其位于德国柏林的工厂，以提高生产和开发能力。此外，该公司还积极吸收当地人才。ASML 柏林工厂主要负责生产和研发高精密零件，对于 7 纳米以下先进制程来说非常重要。该公司目前市值将近 2500 亿欧元，是欧洲市值最高的科技公司之一，同时也是全球唯一销售极紫外光 (EUV) 光刻机的公司。